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J-GLOBAL ID：201502255590616076   整理番号：15A0472892

クロム蒸着光学素子のIn Situ炭素汚染除去

著者 (7件)： 豊島章雄 (KEK-PF) ,  田中宏和 (KEK-PF) ,  菊地貴司 (KEK-PF) ,  雨宮健太 (KEK-PF) ,  雨宮健太 (総合研究大学院大) ,  間瀬一彦 (KEK-PF) ,  間瀬一彦 (総合研究大学院大)
資料名： 物構研サイエンスフェスタ要旨集
巻： 3rd  ページ： 96  発行年： 2015年 
JST資料番号： L2365B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 除去 ,  浄化 ,  環境汚染 ,  *光学素子 ,  *クロム ,  *ビームライン ,  蒸着膜 ,  反射率 ,  *回折格子
準シソーラス用語： *汚染除去 ,  *炭素汚染

分類 (2件)： 加速器一般及び理論  (BE02010M) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： クロム ,  蒸着 ,  光学素子 ,  炭素汚染