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J-GLOBAL ID：201502255870934570   整理番号：15A0456032

表面のマイクロサイズ効果に基づいた双安定誘導マイクロスイッチの分析

Analysis of bistable inductive micro-switch based on surface micro size effect

著者 (2件)： TIAN Wenchao (School of Electro-Mechanical Engineering, Xidian Univ., Xi’an 710071, CHN) ,  CHEN Zhiqiang (School of Electro-Mechanical Engineering, Xidian Univ., Xi’an 710071, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 334  ページ： 32-39  発行年： 2015年04月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導マイクロスイッチはトリガ作用を実現するために外部加速を誘起できるのみならず外部加速により制御することができる。それはセンサとアクチュエータの統合デバイスである。しかし,マイクロスイッチの接触過程の間のマイクロサイズ効果を正確に分析するための総合的なモデルを開発するための仕事はほとんどなされていない。「閉に失敗」及び「過渡-閉」に関係した機能不全は信頼性の低下及び妨害対応力の弱化をもたらす。双安定誘導マイクロスイッチをナノ電気機械システム(NEMS)技術及びマイクロサイズ効果に基づいて示した。正弦モデルを使用してマイクロスイッチの粗い接触表面を記述した。Casimir力及びvan der Waals(vdW)力のようなマイクロサイズ力を真空エネルギーの原理及びWigner-Seitz連続媒質を使用して詳細に分析した。vdW力は反発力を含んでいる。ギャップにより変わるCasimir力のシミュレーションの結果を得,それを実験結果と比較した。双安定誘導マイクロスイッチの動力学方程式を立てた。動力学シミュレーションの結果は実験結果と一致した。加速閾値は6.8gで,応答時間は17.5μsであった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  双安定性 ,  信頼性 ,  *MEMS ,  ナノメータ加工 ,  トリガ回路 ,  センサ ,  マイクロアクチュエータ ,  *Casimir効果 ,  *van der Waals半径 ,  応答時間 ,  計算機シミュレーション ,  動的解析 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  静電アクチュエータ ,  *誘導マイクロスイッチ

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： サイズ効果 ,  双安定 ,  誘導 ,  マイクロスイッチ ,  分析