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J-GLOBAL ID:201502256633510850   整理番号:15A0530341

マイクロチャネルにおける触媒金属酸化物膜のプラズマ電解酸化によるin situ作製

In-situ fabrication of catalytic metal oxide films in microchannel by plasma electrolytic oxidation
著者 (4件):
資料名:
巻: 269  ページ: 30-35  発行年: 2015年05月15日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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マイクロリアクターのためのin situ触媒層を作製する新方法の開発において,皮膜作製のためにプラズマ電解酸化(PEO)プロセスを利用して,酸化膜の成長について研究した。TiO2-Al2O3複合酸化物を含むPEO皮膜を,表面にマイクロチャンネルを形成したアルミニウム基板上に作製し,得られた皮膜の微細構造と組成に及ぼす印加電圧の影響を調査した。皮膜の形態および組成はプロセスパラメータに強く影響を受け,印加電圧を増加することによって皮膜中のTi量は増加し,表面の気孔率は減少した。また,マイクロチャンネルの内側と外側に形成された皮膜の比較から,微細構造の大きな変化が観察され,これは深く狭いチャネルによる遮蔽および物質移動の効果によって説明することができた。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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化成処理 
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