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J-GLOBAL ID：201502256871283528   整理番号：15A0052121

3次元構造超伝導トンネル接合の作製

Fabrication of three-dimensional superconducting tunnel junctions

著者 (4件)： 藤井剛 (産業技術総合研) ,  浮辺雅宏 (産業技術総合研) ,  志岐成友 (産業技術総合研) ,  大久保雅隆 (産業技術総合研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 114  号： 247(SCE2014 34-48)  ページ： 7-10  発行年： 2014年10月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々が開発しているX線吸収微細構造分析装置の検出感度の向上には,使用するNb/Al超伝導トンネル接合(STJ)アレイ検出器の有感面積の拡大が有効である。アレイを構成する各STJ素子の面積拡大は,エネルギー分解能の劣化を招くため,有感面積の拡大はアレイ数の増大により実現する必要がある。そのため,有感面積を現行の10倍以上にするためには,アレイ数を現在の100から1000以上にする必要である。今回我々は,配線をSTJ素子下部に配置することにより,1つのSTJ素子に必要な面積を削減,現在の100アレイ素子と同程度の面積内に,最大4000個STJ素子を集積できる3次元構造を持つSTJアレイ素子を作製した。作製したアレイの中で最良のSTJでは,0.40mVでのリーク電流は2nAであり,X線検出器として十分な特性を実現した。(著者抄録)

シソーラス用語： トンネル接合 ,  *超伝導接合 ,  放射線検出器 ,  構造 ,  *XAFS ,  感度 ,  Josephson接合 ,  X線スペクトル ,  X線検出器
準シソーラス用語： *X線吸収微細構造 ,  検出感度 ,  三次元構造 ,  超伝導トンネル接合

分類 (2件)： X線スペクトル  (BH03040J) ,  Josephson接合・素子  (BM04043E)

引用文献 (8件)：

• S. Friedrich, ”Cryogenic X-ray detectors for synchrotron science,” J. Synchrotron Rad., vol.13, no.2, pp.159-171, March 2006.
• S. Shiki, N. Zen, M. Ukibe, and M. Ohkubo, ”Soft X-Ray Spectrometer Using 100-Pixel STJ Detectors for Synchrotron Radiation,” AIP Conf. Proc., vol.1185, pp.409-412, December 2009.
• S. Shiki, M. Ukibe, Y. Kitajima, and M. Ohkubo, ”Fluorescence yield X-ray absorption spectroscopy for O-Kα with elimination of N-Kα background using superconducting tunnel junction detectors,” Physica C, vol. 471, pp. 1263-1266, November 2011.
• M. Ohkubo, S. Shiki, M. Ukibe, N. Matsubayashi, Y. Kitajima, and S. Nagamachi, ”X-ray absorption near edge spectroscopy with a superconducting detector for nitrogen dopants in SiC,” Sci. Rep., vol. 176, pp. 225-260, November 2012.
• G. Fujii, M. Ukibe, S. Shiki, and M. Ohkubo, ”Toward 1000-Pixel Superconducting-Tunnel-Junction Detectors for X-Ray Absorption Fine Structure Spectroscopy,” J. Low Temp. Phys., vol. 2, pp. 831-1-831-5, February 2012.

タイトルに関連する用語 (3件)： 3次元構造 ,  超伝導トンネル接合 ,  作製