文献

J-GLOBAL ID：201502257278052990   整理番号：15A0680952

ナノ材料の局在化エアロゾル支援CVDによるモノリスガスセンサマイクロアレイの製作

Localized aerosol-assisted CVD of nanomaterials for the fabrication of monolithic gas sensor microarrays

著者 (7件)： ANNANOUCH F.E. (MINOS-EMaS, Dep. d’Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virigili, Tarragona, ESP) ,  GRACIA I. (Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM), CSIC, Barcelona, ESP) ,  FIGUERAS E. (Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM), CSIC, Barcelona, ESP) ,  LLOBET E. (MINOS-EMaS, Dep. d’Enginyeria Electronica, Univ. Rovira i Virigili, Tarragona, ESP) ,  CANE C. (Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM), CSIC, Barcelona, ESP) ,  VALLEJOS S. (Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM), CSIC, Barcelona, ESP) ,  VALLEJOS S. (SIX Res. Center, Fac. of Electrical Engineering and Communication, Brno Univ. of Technol., Brno, CZE)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 216  ページ： 374-383  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSベースデバイスの自己加熱能力を利用し,エアロゾル支援化学蒸着(CVD)を通した複数機能化モノリスガスセンサアレイのセンシング活性領域への局部的成長を行った。SEM,TEM,XRD,Raman分光より得られた結果は,未機能化(WO_3-)ナノ構造とガスセンサアレイへの金(WO_3-/Au)または白金(WO_3-/Pt)NPsによる機能化ナノ構造の統合をしめした。異なる濃度の還元性ガスに対応したこれらのマイクロアレイの試験は,安定した再現性の良い応答をしめし,一酸化炭素に対するWO_3-(R=4.3~80ppm),エタノールに対するWO_3-/Au(R=7~80ppm),水素に対するWO_3-/Pt(R=3.6~80ppm)で最高の応答(R)をしめす。各ガスと濃度についてのセンサ応答繰り返し実験の主成分分析は,ガスセンサアレイの各エレメントのセンシング特性の相異が水素,エタノール,一酸化炭素を区別する補助的情報を与えることを示唆する。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  センサ ,  *酸化タングステン ,  *官能化 ,  *化学蒸着 ,  MEMS ,  ナノ粒子 ,  水素 ,  一酸化炭素 ,  主成分分析 ,  ナノ複合材料 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： *ガスセンサアレイ ,  金ナノ粒子 ,  白金ナノ粒子

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ材料 ,  局在化 ,  エアロゾル ,  支援 ,  CVD ,  製作