文献

J-GLOBAL ID：201502257521860391   整理番号：15A0476292

フッ素化ZnO薄膜トランジスタに基づいた高精度活性マトリックス自己容量性タッチパネル

High Precision Active-Matrix Self-Capacitive Touch Panel Based on Fluorinated ZnO Thin-Film Transistor

著者 (9件)： YE Zhi (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  WONG Man (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG) ,  NG Man-Tik (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG) ,  CHUI Kin-Ho (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG) ,  KONG Chi-Keung (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG) ,  LU Lei (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG) ,  LIU Tengfei (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  LUO Jack K. (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  LUO Jack K. (Univ. Bolton, Bolton, GBR)
資料名： Journal of Display Technology  (Journal of Display Technology)
巻： 11  号： 1-3  ページ： 22-29  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： W1444A  ISSN： 1551-319X  CODEN： IJDTAL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マトリクスアドレス型容量性センシングは最新のマルチタッチパネルに利用されている。そこで,活性マトリックス(AM)自己容量性タッチパネルを提案した。活性マトリックスフラットパネルディスプレイに似て,薄膜トランジスタ(TFT)による各要素の制御のために高分解能を実現することは容易である。活性層としてフッ素化酸化亜鉛(F-ZnO)を用いるTFTは高電気性能,低プロセス温度および高トランスミッタンスを持つ。提案のタッチパネルの各要素の自己コンデンサはF-ZnO TFTにより容易にオン・オフされ,寄生静電容量を下げ,高い分解能を得ることになる。その結果,1mm×1mmのタッチ要素寸法を持つ高精度タッチパネルを実現した。

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  フッ素化 ,  酸化亜鉛 ,  アクティブマトリックス ,  パネル ,  *フラットパネルディスプレイ
準シソーラス用語： ZnO ,  タッチパネル

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： フッ素化 ,  ZnO薄膜 ,  トランジスタ ,  活性マトリックス ,  自己 ,  容量性 ,  タッチパネル