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J-GLOBAL ID：201502259391670482   整理番号：15A0493028

GCIBエッチングを用いたXPS分析

著者 (1件)： 吉川和宏 (東レリサーチセ)
資料名： TRC News (Tokyo)  (TRC News (Tokyo))
号： 120  ページ： 18-19  発行年： 2015年02月25日 
JST資料番号： L2876A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ポリイミド,フッ素コーティングを行ったPET材料等の有機材料の深さ方向に対するAr⁺ガスクラスタイオンビーム(GCIB)を用いたXPS分析について調べた。又表面分析の前処理としてのサンプルの有機汚染除去についてGCIBを用いたその可能性を調べた。有機汚染除去して得られたAgMNNオージェピークの検出から銀表面のその電子状態を特定出来た。

シソーラス用語： *Arレーザ ,  クラスタイオン ,  イオンビーム ,  バンド構造 ,  表面準位 ,  *表面分析 ,  深さプロフィル ,  *ポリエチレンテレフタレート ,  ポリイミド ,  表面性状 ,  フッ素化重合体 ,  *表面被覆 ,  銀 ,  Auger分光法
準シソーラス用語： 外面コーティング ,  表面バンド構造

分類 (2件)： その他の物理分析  (CC03014E) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

引用文献 (3件)：

• 吉川和宏,加連明也,The TRC News,102,16(2008).
• 松田和大,The TRC News,116,17(2013).
• 萬尚樹,松田和大,The TRC News,118,14(2014).

タイトルに関連する用語 (2件)： エッチング ,  XPS分析