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J-GLOBAL ID：201502260178593596   整理番号：15A0601472

PVDコーティング工具による難削材の高能率加工-フィルタードアーク蒸着法(FAD)によって形成した膜の評価-

著者 (5件)： 藤本哲生 (金沢大 大学院) ,  細川晃 (金沢大) ,  古本達明 (金沢大) ,  小谷野智広 (金沢大) ,  嶋村公二 (北熱)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.R02  発行年： 2015年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ドロップレットのない平滑な膜が得られるフィルタードアーク蒸着法(FAD)によって形成したコーティング工具の切削特性を評価している。FAD-TiNコーティング工具の耐摩耗性は成膜時における基板バイアス電圧およびN₂流量に依存する。SATAVAXプリハードン鋼のエンドミル加工において,適切な条件で生成したFAD-TiN膜は市販のホローカソード源によるPVD膜と同等かあるいはそれ以上の切削特性を示す。(著者抄録)

シソーラス用語： *物理蒸着 ,  *被覆工具 ,  イオンめっき ,  耐摩耗性 ,  ダイス鋼 ,  エンドミル加工 ,  チタン化合物 ,  *難削材 ,  *工具摩耗
準シソーラス用語： PVD ,  フィルタードアーク蒸着

分類 (1件)： フライス加工  (QC02030R)

タイトルに関連する用語 (7件)： PVD ,  コーティング工具 ,  難削材 ,  高能率加工 ,  フィルタードアーク蒸着 ,  FAD ,  評価