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J-GLOBAL ID：201502260202530630   整理番号：15A0240286

薄い誘電体層の中のボイド含有量の特性評価のための近接場集束センサ

Near-field focusing sensor for characterization of void content in thin dielectric layers

著者 (2件)： TAYLOR S H (Purdue Univ., IN, USA) ,  GARIMELLA S V (Purdue Univ., IN, USA)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 26  号： 1  ページ： 015601,1-11  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 直交する電極メッシュ配置を持つ近接場集束センサを,薄い誘電体層の中のボイド含有量を測定する手段として説明した。二次元感度関数を用いるセンサ応答の特性記述を,このセンサで得るボイド率見積りの誤差を制限する手段として述べる。厚さ254μmの熱界面材料の中のボイド検出を,この方法を用いて実験的に説明する。このセンサは動く部分を必要とせず,測定は連続してできる。この方法は,その場的性質から,誘電体層の中の時間発展するボイド構造を,実時間でデータ収集のための試料圧迫計画を中断や延期せずにモニタする,理想的候補になる。

シソーラス用語： *薄膜 ,  誘電体 ,  空洞 ,  含有量 ,  近接場 ,  *センサ ,  電極 ,  空隙率 ,  誤差

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ボイド ,  含有量 ,  特性評価 ,  近接場 ,  集束