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J-GLOBAL ID:201502260756369211   整理番号:15A0335904

簡単なネブライザー噴霧熱分解法による酸化セリウム薄膜の形態に及ぼす溶媒と基板温度の効果

Effect of solvent and substrate temperature on morphology of cerium oxide thin films by simple nebuliser spray pyrolysis technique
著者 (4件):
資料名:
巻: 30  号:ページ: 12-22  発行年: 2015年 
JST資料番号: E0072B  ISSN: 1066-7857  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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酸化セリウムは低毒性でシリコンとの格子定数適合性が良く,光学特性に優れている。本研究では,種々の溶媒と基板温度(300~500°C)で,エタノールと水中に溶解した硝酸セリウムを前駆体として,種々の基板温度でガラス基板上に,空気をキャリアガスとして噴霧熱分解法により酸化セリウム薄膜を調製し,結晶構造,表面形態,光学性質そしてI-V特性を研究した。XRDの結果からすべての膜は立方晶系蛍石構造を示し,調製条件により異なる優先配向となった。光ルミネッセンススペクトルから,紫および青色発光を認めた。バンドギャップは3.0~3.6eVと計算した。X線光電子分光法から,薄膜はCe3+を含むCe4+からなる非化学量論的性質を示すことが分った。
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分類 (3件):
分類
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酸化物薄膜  ,  光物性一般  ,  無機化合物のルミネセンス 
物質索引 (1件):
物質索引
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