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J-GLOBAL ID：201502261178366600   整理番号：15A0487406

無線制御のカンチレバーに似たアクチュエーション用の微細加工した長方形スパイラルコイルアクチュエータ

Micromachined rectangular-spiral-coil actuator for radio-controlled cantilever-like actuation

著者 (3件)： FONG Jeffrey (Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of British Columbia, Vancouver, BC V6T1Z4, CAN) ,  XIAO Zhiming (Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of British Columbia, Vancouver, BC V6T1Z4, CAN) ,  TAKAHATA Kenichi (Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of British Columbia, Vancouver, BC V6T1Z4, CAN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 226  ページ： 107-115  発行年： 2015年05月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,カンチレバーに似たアクチュエーションを行うように設計した長方形スパイラルコイルの微細加工した形状記憶合金(SMA)アクチュエータについて報告した。このSMAコイルアクチュエータは,アクチュエーションの周波数選択制御用の外部無線周波数(RF)電磁場を使って活性化した無線熱源として機能する受動共振回路をそれ自身形成する。SiO₂応力層はニッケル-チタンSMA,即ちニチノール,のアクチュエータ構造上に選択的にパターン形成されており,規定冷状態でカンチレバープロファイルを操作する。変化するフィールド周波数のRF放射は,共振周波数170~245MHzの微細加工したアクチュエータにより無線加熱,アクチュエーション変位,および力発生の強い周波数依存性を示した。共振励起されたアクチュエータは,それぞれ215μmと71mNの最大面外変位と力を示した。この開発したSMAアクチュエータは,同じような自己加熱メカニズムの以前の設計と比較して2倍以上の力と2倍以上の電力効率応答を与えるだけでなく,その一般的に採用されているカンチレバーによるアクチュエーションによりもたらされる広い可能性あるアプリケーションを与える。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 遠隔制御 ,  無線伝送 ,  動作 ,  微細加工 ,  *形状記憶合金 ,  周波数 ,  電磁場 ,  ニチノール ,  *マイクロアクチュエータ ,  共振周波数 ,  周波数依存性 ,  加熱 ,  *誘導加熱 ,  片持梁
準シソーラス用語： カンチレバー ,  磁気アクチュエーション ,  自己加熱 ,  無線周波数 ,  無線制御

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 無線制御 ,  カンチレバー ,  微細加工 ,  長方形