文献

J-GLOBAL ID：201502261546284988   整理番号：15A0336844

熱処理したCo/Mo₂C多層の界面観察

Interface observation of heat-treated Co/Mo₂C multilayers

著者 (13件)： YUAN Yanyan (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie ...) ,  YUAN Yanyan (CNRS UMR 7614, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, F-75231 Paris cedex 05, FRA) ,  LE Guen Karine (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie ...) ,  LE Guen Karine (CNRS UMR 7614, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, F-75231 Paris cedex 05, FRA) ,  ANDRE Jean-Michel (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie ...) ,  ANDRE Jean-Michel (CNRS UMR 7614, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, F-75231 Paris cedex 05, FRA) ,  MENY Christian (Inst. de Physique et Chimie des Materiaux de Strasbourg, UMR 7504 CNRS-Universite De Strasbourg, 23 rue du Loess ...) ,  ULHAQ Corinne (Inst. de Physique et Chimie des Materiaux de Strasbourg, UMR 7504 CNRS-Universite De Strasbourg, 23 rue du Loess ...) ,  GALTAYRIES Anouk (PSL, Res. Univ., Inst. de Rech. de Chimie Paris, CNRS - Chimie ParisTech, 11 rue Pierre et Marie Curie, F-75005 ...) ,  ZHU Jingtao (Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN) ,  WANG Zhanshan (Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, Tongji Univ., Shanghai 200092, CHN) ,  JONNARD Philippe (Sorbonne Universites, UPMC Univ Paris 06, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie ...) ,  JONNARD Philippe (CNRS UMR 7614, Lab. de Chimie Physique-Matiere et Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, F-75231 Paris cedex 05, FRA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 331  ページ： 8-16  発行年： 2015年03月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一連の周期的Co/Mo₂C多層の界面の発展を600°Cまでのアニール温度の関数として調べた。積層界面で起きている現象に関する情報を得るためにいろいろな方法を用いた。Co/Mo₂C多層の周期構造を飛行時間二次イオン質量分析(ToF-SIMS)深さプロファイルにより立証し,空気/積層及び積層/基板界面両者における酸化物層の形成を明らかにした。核磁気共鳴(NMR)スペクトルから,堆積したままの試料ではCoとC原子は混合しており,次いで300°C以上でのアニールでCo及びC原子はそれらの混合領域から離れることが観測された。Co/Mo₂CとCo/C参照試料のNMRの結果の比較によりこの現象を確認した。このことはX線放射分光(XES)測定の結果と一致した。さらに,Miedemaモデルを使用したCo-C,Co-Mo及びMo-C混合エンタルピーの計算により300°C以上での積層内にあるCoとC原子の脱混合の証拠を得た。透過型電子顕微鏡(TEM)分析から,全ての層の主にアモルファス的性質と堆積しただけの試料におけるいくつかの微結晶の存在が明らかになった。このことは,アニールにより誘起された微結晶の成長を示すX線回折(XRD)パターンにより確認した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *コバルト ,  金属薄膜 ,  *モリブデン化合物 ,  *炭化物 ,  *多層膜 ,  周期構造 ,  *界面 ,  *焼なまし ,  *深さプロフィル ,  *二次イオン質量分析 ,  飛行時間法 ,  *NMR【磁気共鳴】 ,  X線スペクトル ,  *相互拡散 ,  混合熱 ,  X線回折 ,  微結晶 ,  非晶質 ,  *分離
準シソーラス用語： *炭化モリブデン

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 熱処理 ,  CO ,  多層 ,  界面 ,  観察