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J-GLOBAL ID：201502262463556273   整理番号：15A0505019

50%~100%RHの範囲における高湿度測定のための新しいゾル-ゲル薄膜定位相センサ

A Novel Sol-Gel Thin-Film Constant Phase Sensor for High Humidity Measurement in the Range of 50%-100% RH

著者 (3件)： ISLAM Tarikul (Jamia Millia Islamia Central Univ., New Delhi, IND) ,  RAHMAN Zia Ur (Jamia Millia Islamia Central Univ., New Delhi, IND) ,  MUKHOPADHYAY Subhas Chandra (Massey Univ., Palmerston North, NZL)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 4  ページ： 2370-2376  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属酸化物Al₂O₃の多孔質薄膜を用いた,新しい定位相湿度センサを開発した。膜を,ゾル-ゲルディップコーティング法により堆積した。センサは,湿度に曝したとき,膜の多孔質性のため,定位相(CP)素子のように挙動した。実験結果は,湿度による定位相センサ(CPS)の分数次における大きな変化が存在することを示した。最終的に,センサは,分数次微分器でインターフェイスし,1MHz周波数において湿度による位相シフトを測定した。位相シフト対相対湿度(RH)プロットは,インピーダンスアナライザから得られるセンサの位相角応答と類似していた。

シソーラス用語： *ゾル-ゲル法 ,  *センサ ,  *位相測定 ,  *湿度計 ,  *薄膜成長 ,  *γアルミナ ,  微分器 ,  *相対湿度 ,  角度 ,  電極 ,  浸漬塗装
準シソーラス用語： 薄膜センサ ,  薄膜定位相センサ ,  湿度測定 ,  分数次微分器 ,  高湿度 ,  位相角 ,  櫛形電極

分類 (2件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 湿度測定 ,  ゾル-ゲル ,  薄膜 ,  定位