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J-GLOBAL ID：201502262557445971   整理番号：15A0456070

Pt(100)上へのBaTiO₃およびSrTiO₃原子層のパルスレーザ蒸着中のその場応力測定

In situ stress measurements during pulsed laser deposition of BaTiO₃ and SrTiO₃ atomic layers on Pt(001)

著者 (3件)： PREMPER J. (Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale, DEU) ,  SANDER D. (Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale, DEU) ,  KIRSCHNER J. (Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale, DEU)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 335  ページ： 44-49  発行年： 2015年04月30日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カンチレバーたわみ法を適用して,Pt(100)単結晶カンチレバー基板上にパルスレーザ蒸着中のnmのBaTiO₃およびSrTiO₃薄膜中の応力を測定した。Pt(100)上のBaTiO₃では-4.2GPaの圧縮性膜応力(ミスフィット=-2.3%)が得られ,対してSrTiO₃の蒸着は+1.5GPaの引張応力(ミスフィット=+0.4%)を誘起した。この応力測定を,膜のエピタキシャルの規則性を示すその場低速電子回折実験で補った。連続弾性を適用して膜の応力を計算した。測定した応力の符号と大きさは膜と基板の間のエピタキシャルミスフィットによるもので,BaTiO₃およびSrTiO₃ではそれぞれ,-2.3%と+0.4%であると結論した。ミスフィットに加えて,PLD膜成長中の酸素の分圧も膜の応力に影響することを確認した。酸素なしの環境中でのPDL成長は,p_X=10^-4mbar(X=O₂)での成長と比較して,Pt(100)上のSrTiO₃中の引張応力を2倍にする。膜の応力に対する膜の化学量論の役割を考察した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *白金 ,  *チタン酸バリウム ,  *チタン酸ストロンチウム ,  *パルスレーザ蒸着 ,  圧縮応力 ,  引張応力 ,  *ミスフィット ,  *化学量論 ,  低速電子回折 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  *エピタクシー ,  片持梁 ,  *強誘電体 ,  分圧 ,  誘電体薄膜 ,  *残留応力 ,  格子不整合
準シソーラス用語： その場測定 ,  *マルチフェロイック ,  酸素分圧

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： Pt ,  BaTiO3 ,  原子層 ,  パルスレーザ蒸着 ,  応力測定