SrTiO3薄膜の電気的性質に対するAl2O3の影響: Al2O3添加SrTiO3とSrTiO3/Al2O3/SrTiO3構造の比較

AHN Ji-Hoon; KIM Ja-Yong; JEONG Seong-Jun; KWON Se-Hun; KWON Se-Hun

文献

J-GLOBAL ID：201502264166626753 整理番号：15A0269162

SrTiO₃薄膜の電気的性質に対するAl₂O₃の影響: Al₂O₃添加SrTiO₃とSrTiO₃/Al₂O₃/SrTiO₃構造の比較

Effect of Al₂O₃ insertion on the electrical properties of SrTiO₃ thin films: A comparison between Al₂O₃-doped SrTiO₃ and SrTiO₃/Al₂O₃/SrTiO₃ sandwich structure

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資料名：
巻： 64 ページ： 1-5 発行年： 2015年04月
JST資料番号： B0954A ISSN： 0025-5408 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

一般的に誘電率が高いSrTiO₃膜が,結晶粒界と狭いバンドギャップがもたらす高い漏れ電流問題に悩まされていることから,SrTiO₃膜の電気的性質に対するAl₂O₃挿入の影響を,金属-絶縁体-金属(MIM)キャパシタで体系的に調査した。効果的なAl₂O₃の挿入方法を見つけるために,Al₂O₃を,二つの方法でSrTiO₃薄膜に挿入した。第一の方法はSrTiO₃薄膜へのAl₂O₃の添加,第二の方法は,SrTiO₃薄膜間に厚みがナノメータのAl₂O₃層をサンドイッチする方法である。漏れ遮断特性に関して,SrTiO₃膜を添加によって非晶質にした時,Al₂O₃を添加したSrTiO₃膜の漏れ電流は効果的に減少した。SrTiO₃/Al₂O₃/SrTiO₃構造の場合,1.19nm以上の厚みのAl₂O₃がSrTiO₃の非晶質化なしに漏れ電流遮断層の役割を果たした。さらに,構造劣化がもたらしたAl₂O₃を添加したSrTiO₃膜の誘電性の劣化は,SrTiO₃/Al₂O₃/SrTiO₃構造の膜よりも激しかった。その結果,Al₂O₃を添加したSrTiO₃に比べ,より小さい漏れ電流密度が10^-7A/cm²のSrTiO₃/Al₂O₃/SrTiO₃構造の膜で,二倍以上高い値(~45)の誘電率を得た。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 分子構造と性質の実験的研究 , 静電機器 , 酸化物薄膜

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