応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
半導体 について
ケイ素 について
ウエハ【IC】 について
クラスタ分子 について
炭素 について
イオン照射 について
ゲッタリング について
格子欠陥 について
電子顕微鏡観察 について
透過型電子顕微鏡 について
10-100keV について
電子回折 について
シリコンウエハ について
照射欠陥 について
炭素クラスタ について
半導体の放射線による構造と物性の変化 について
半導体の格子欠陥 について
炭素クラスター について
イオン照射 について
Siウェーハ について
ゲッタリング について
低温 について
クラスター について
照射欠陥 について