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J-GLOBAL ID：201502265861651765   整理番号：15A0598256

火花放電アノード酸化によるZrO₂/TiO₂マイクロパターニング膜の作製

Patterned ZrO₂/TiO₂ film in micrometer scale prepared by anodic oxidation of titanium under spark discharge

著者 (2件)： 細岡芽衣 (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  岩崎光伸 (近畿大 大学院総合理工学研究科)
資料名： 材料技術  (Material Technology)
巻： 33  号： 2  ページ： 23-29  発行年： 2015年03月25日 
JST資料番号： Y0644A  ISSN： 0289-7709  CODEN： MTECFQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ミクロンオーダーの規則的な周期構造を有する異種金属酸化物の1例として,ZrO₂とTiO₂からなる規則的周期構造薄膜を,光感応性パターニング法と火花放電アノード酸化とを併用して作成した。ZrO₂ゲル膜をコーティングしたチタン板に紫外線照射しエタノールによるエッチングを行い,焼成をした後もしくは焼成せずに,アノード酸化した。アノード酸化前の焼成の有無により,アノード酸化する位置を選択的に制御できることを明らかにした。焼成しないときはZrO₂ゲル膜下にアノード酸化チタン皮膜が形成され,ZrO₂(TiO₂)とTiO₂干渉膜との周期構造,焼成したものではZrO₂とアノード酸化チタン厚膜(AO-TiO₂)との周期構造が形成された。

シソーラス用語： *パターン形成 ,  マイクロマシニング ,  微細加工 ,  *酸化ジルコニウム ,  *酸化チタン ,  アノード酸化 ,  陽極酸化皮膜 ,  火花放電 ,  周期構造 ,  ゾル-ゲル法 ,  焼成 ,  チタン ,  純金属 ,  金属板 ,  紫外線照射 ,  エッチング ,  微細構造
準シソーラス用語： *マイクロパターニング ,  純チタン

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (10件)：

• Masuda, Y. Sugiyama, T. Lin, H. Seo, W. S.;Koumoto, K. Thin Solid Films, 382,153 (2001).
• T. Imao, N. Noma and S. Ito, Shikizai Kyokaishi, 79,277 (2006).
• 工藤浩棋,堀川袷志,岩崎光伸,伊藤征司郎,材料技術,第27巻2号,pp.54-59(2009).
• 工藤浩棋,岩崎光伸,伊藤征司郎,表面技術,59(5),340(2008).
• 工藤浩棋,堀川袷志,岩崎光伸,伊藤征司郎,表面技術,60(4),285(2009).

タイトルに関連する用語 (6件)： 火花放電 ,  アノード酸化 ,  ZrO2 ,  TiO2 ,  マイクロパターニング ,  作製