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J-GLOBAL ID：201502266051124269   整理番号：15A0505688

(CH)_nポリマーとAl₂O₃(0001)との反応によるAl₄C₃のエピタキシャル成長

著者 (5件)： 大見浩輔 (北大) ,  柳瀬隆 (北大 工) ,  長谷川幸樹 (北大 工) ,  長浜太郎 (北大 工) ,  島田敏宏 (北大 工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.11A-D8-1  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *エピタクシー ,  *炭化アルミニウム ,  カルビン ,  酸化アルミニウム ,  X線回折 ,  Ramanスペクトル ,  反応機構 ,  化合物半導体
準シソーラス用語： *エピタキシャル成長 ,  ポリヒドリドカルビン

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： CH ,  ポリマー ,  Al2O3 ,  エピタキシャル成長