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J-GLOBAL ID：201502266250555350   整理番号：15A0466909

熱処理過程におけるマグネトロンスパッタMo₂N/AlN系多層コーティングの酸化挙動

Oxidation behavior of magnetron sputtered Mo₂N/AlN multilayer coatings during heat treatment

著者 (4件)： WANG Tao (School of Materials Sci. & Engineering, Xi’an Univ. of Technol., Xi’an 710048, CHN) ,  ZHANG Guojun (School of Materials Sci. & Engineering, Xi’an Univ. of Technol., Xi’an 710048, CHN) ,  LIU Zhuanning (School of Materials Sci. & Engineering, Xi’an Univ. of Technol., Xi’an 710048, CHN) ,  JIANG Bailing (School of Materials Sci. & Engineering, Xi’an Univ. of Technol., Xi’an 710048, CHN)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 41  号： 5 PB  ページ： 7028-7035  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0.5nm~3.7nmの範囲の厚さのAlN層を備えるMo₂N/AlN系多層コーティングをDCマグネトロンスパッタリング法により成膜した。Mo₂N/AlN系多層コーティングは柱状成長構造を示した。AlN層の厚さが1.2nmを超えると,AlN層はfcc構造からアモルファス構造に変化し,これにより多層コーティングの結晶整合性が破壊された。このコーティングを400°C,550°C,700°Cで1時間,空気中で酸化してX線回折(XRD),X線光電子分光法(XPS)および走査型電子顕微鏡(SEM)により調べた。AlN層の厚さの増加に伴い,柱状結晶粒界の密度が減少して表面に緻密なAl₂O₃酸化物層が生成してMo₂N/AlNの多層コーティングの耐酸化性が向上することを明らかにした。Mo₂NコーティングにAlNを添加するとMo₂N/AlN系多層コーティングの摩擦係数が0.36から0.42にMo₂Nコーティングの0.62よりも低下した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *モリブデン化合物 ,  窒化物 ,  窒化アルミニウム ,  *多層膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶構造 ,  *微細構造 ,  熱処理 ,  酸化 ,  結晶粒界 ,  *摩擦係数

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 熱処理 ,  過程 ,  マグネトロンスパッタ ,  AlN ,  多層コーティング ,  酸化挙動