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J-GLOBAL ID：201502267128420296   整理番号：15A0207580

柔軟な単結晶シリコンナノ膜フォトニック結晶空洞

Flexible Single-Crystal Silicon Nanomembrane Photonic Crystal Cavity

著者 (13件)： XU Xiaochuan (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  XU Xiaochuan (Omega Optics, Inc., Texas, USA) ,  SUBBARAMAN Harish (Omega Optics, Inc., Texas, USA) ,  CHAKRAVARTY Swapnajit (Omega Optics, Inc., Texas, USA) ,  HOSSEINI Amir (Omega Optics, Inc., Texas, USA) ,  COVEY John (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  YU Yalin (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  KWONG David (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  ZHANG Yang (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  LAI Wei-Cheng (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  ZOU Yi (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  LU Nanshu (Univ. Texas at Austin, Texas, USA) ,  CHEN Ray T. (Univ. Texas at Austin, Texas, USA)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 8  号： 12  ページ： 12265-12271  発行年： 2014年12月 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 柔軟単結晶シリコンエレクトロニクスとフォトニクスの開発は典型的な人間対自然衝突の現代の事例である。ここでは,ボンディングとシリコンハンドル除去可能ベースの移動技術を用いて柔軟な単結晶フォトニック結晶微小空洞センサを実証した。実証したフォトニック結晶微小空洞は,最高2.2×10⁴の品質係数を示した。この高性能センサ素子は,品質係数を悪化させることなく半径5mmの曲率に曲げることができた。共振波長シフトは一軸歪に線形相関した。屈折率センサとして,柔軟空洞は,実用にとって重要な,変形独立感度を実証した。本研究は,プラスチック基板上の複雑な高品質フォトニック素子を実現する実現可能性を証明した。

シソーラス用語： 柔軟性 ,  *ケイ素 ,  ナノ構造 ,  超薄膜 ,  *空洞 ,  ボンディング【IC】 ,  電子技術 ,  *センサ ,  係数 ,  曲率 ,  曲げ ,  歪 ,  屈折率 ,  感度 ,  変形 ,  基板 ,  品質 ,  固体素子 ,  光学素子 ,  実現可能性 ,  *フォトニック結晶 ,  ナノシート
準シソーラス用語： ナノ膜 ,  フォトニクス ,  フォトニック素子 ,  プラスチック基板 ,  一軸歪 ,  高性能 ,  高品質 ,  単結晶シリコン ,  波長シフト ,  *微小空洞 ,  品質係数

分類 (2件)： 結晶学一般  (BK05010Z) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 単結晶シリコン ,  ナノ膜 ,  フォトニック結晶 ,  空洞