文献

J-GLOBAL ID：201502267512168871   整理番号：15A0708697

スパッタ金属膜の陽極酸化:微細構造的結合

Anodization of sputtered metallic films: The microstructural connection

著者 (3件)： CHOUDHURY Tanushree H. (Materials Res. Centre, Indian Inst. of Sci., Bangalore 560012, IND) ,  RAGHAVAN Srinivasan (Materials Res. Centre, Indian Inst. of Sci., Bangalore 560012, IND) ,  RAGHAVAN Srinivasan (Centre for Nanoscience and Engineering, Indian Inst. of Sci., Bangalore 560012, IND)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 105  ページ： 18-21  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属膜を秩序酸化物ナノ構造へうまく陽極酸化するための単純な微細構造の理論的解釈を明らかにした。それは,三つの最も一般的に研究されている系,Zr,TiおよびAl膜にあてはまり,他の酸化物に拡張することができる。スパッタ膜における緻密領域TあるいはII微細構造は最も重要な成分である。T_substrate>0.3T_meltingは最も単純な経路であるが,圧力およびプラズマ加熱も利用できる。このような微細構造は,独自の成長応力の特徴とも関連がある。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *蒸着膜 ,  スパッタ蒸着 ,  *ジルコニウム ,  *チタン ,  *アルミニウム ,  *陽極酸化処理 ,  *酸化膜 ,  ナノ構造 ,  規則化 ,  *微細構造 ,  基板温度 ,  *内部応力
準シソーラス用語： *成長応力

分類 (1件)： 化成処理  (WC08050J)

タイトルに関連する用語 (4件)： スパッタ ,  金属膜 ,  陽極酸化 ,  微細構造