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J-GLOBAL ID：201502267904187920   整理番号：15A0456292

カソードアークイオンめっきにより合成したナノ結晶AlTiN/MoN皮膜の構造と機械的特性に対する基板回転速度の影響

Influence of substrate rotation speed on the structure and mechanical properties of nanocrystalline AlTiN/MoN coatings synthesized by cathodic arc ion-plating

著者 (5件)： YOUSAF M.I. (Key Lab. of Artificial Micro- and Nano-Materials of Ministry of Education and School of Physics and Technol., Wuhan ...) ,  PELENOVICH V.O. (Key Lab. of Artificial Micro- and Nano-Materials of Ministry of Education and School of Physics and Technol., Wuhan ...) ,  YANG B. (School of Power & Mechanical Engineering, Wuhan Univ., Wuhan 430072, CHN) ,  LIU C.S. (Key Lab. of Artificial Micro- and Nano-Materials of Ministry of Education and School of Physics and Technol., Wuhan ...) ,  FU D.J. (Key Lab. of Artificial Micro- and Nano-Materials of Ministry of Education and School of Physics and Technol., Wuhan ...)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 265  ページ： 117-124  発行年： 2015年03月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2回軸法を用いたカソードアークイオンめっきによりSi(100)および超硬合金基板上に作製したAlTiN/MoN多層膜の構造と機械的特性に対する基板回転速度(SRS)の影響を調べた。すべての試料に対してEDSにより測定したAl:Ti比は設計した2:1比に近く,組成Al_0.63Ti_0.37Nに対応した。2層周期は回転速度に依存して11~61nmの範囲であった。1分間に3回転(RPM)の皮膜は最も平坦な表面(Rms=19nm)を,1RPMが最も高い硬度44GPaを示した。硬度とYoung率はRPMの上昇と共に低下した。多層構造の硬度,Young率,平坦さと摩擦係数は,単層の対照試料と比較して高い。摩耗痕と表面モホロジー実験についても分析した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： イオンめっき ,  *アルミニウム化合物 ,  *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *モリブデン化合物 ,  *複合材料 ,  *めっき皮膜 ,  微細構造 ,  *機械的性質 ,  *基板 ,  *回転数 ,  ウエハ【IC】 ,  超硬合金 ,  表面粗さ ,  滑面 ,  微小硬さ ,  Young率 ,  多層構造 ,  摩擦係数 ,  痕跡 ,  摩耗 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  弾性係数
準シソーラス用語： *カソードアークイオンめっき ,  ケイ素基板 ,  *窒化アルミニウムチタン ,  *窒化モリブデン ,  表面モルフォロジー ,  摩耗痕

分類 (1件)： ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D)

タイトルに関連する用語 (6件)： カソード ,  アークイオンめっき ,  ナノ結晶 ,  皮膜 ,  機械的特性 ,  回転速度