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J-GLOBAL ID：201502270930186798   整理番号：15A0247215

韓国における電子工業及び関連する環境における化学計測学の役割 テュートリアル

Roles of chemical metrology in electronics industry and associated environment in Korea: A tutorial

著者 (4件)： KANG Namgoo (Center for Gas Analysis, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 267 Gajeong-ro, Yuseong-Gu, Daejeon 305-340, KOR) ,  JOONG Kim Kyung (Center for New Functional Materials, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 267 Gajeong-ro, Yuseong-Gu, Daejeon ...) ,  SEOG Kim Jin (Center for Gas Analysis, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 267 Gajeong-ro, Yuseong-Gu, Daejeon 305-340, KOR) ,  HAE Lee Joung (Center for Inorganic Analysis, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 267 Gajeong-ro, Yuseong-Gu, Daejeon 305-340, KOR)
資料名： Talanta  (Talanta)
巻： 134  ページ： 284-291  発行年： 2015年03月01日 
JST資料番号： E0324A  ISSN： 0039-9140  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学計測学は半導体,電子表示装置,及びマイクロエレクトロニクス製造をする電子工業において重要性を増している。この工業からの広範囲かつ増加している必要性は,物質の量及び材料特性の正確な測定の重要性を増している。この論文は初めて,エレクトロニクス製品の品質管理や電子工業と密接に関わる環境規制の面で,化学計測学が色々なニーズに合うように適用されるかについて情報をもたらす。電子工業の中での化学計測学の役割のより良い理解のため,化学計測学における最近の研究活動と結果を,電子工業が自国経済を率いている韓国における典型的な例を使って説明する。新たに起こる電子技術開発を進めるためへの化学計測学の適用に特別な注意を向ける。その様な例は,MEMSパッケージ内のナノリットルレベル気体組成の正確な定量のための新規技術,半導体装置の表面化学分析である。電子工業内での環境問題を適切に処理するため,フッ素化温室効果ガス,重金属用の技能試験スキーム及び塩素化毒性ガス用の認証標準物質の開発のため,典型的な計測用の道具についても示した。加えて,典型的な温室効果ガス洗浄器の分解及び除去効率の正確な測定のための最近の技術を説明した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 指導 ,  *大韓民国 ,  電機電子工業 ,  計測 ,  表示装置 ,  マイクロエレクトロニクス ,  温室効果ガス ,  検定 ,  試験 ,  専門化 ,  MEMS ,  認証標準物質 ,  *表面分析 ,  *有機フッ素化合物 ,  スクラッバ ,  有害ガス ,  深さ分析 ,  *定量分析 ,  *Augerスペクトル ,  *二次イオン質量分析 ,  *元素分析 ,  *ICP-MS分析 ,  試料採取 ,  *大気質試験 ,  アニオン ,  *分析
準シソーラス用語： テュートリアル ,  技能試験 ,  電子表示装置 ,  *ペルフルオロ化合物 ,  塩化物イオン ,  *環境分析

分類 (1件)： 各種分析法一般  (CC08010X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 韓国 ,  電子工業 ,  環境 ,  化学計測 ,  役割 ,  テュートリアル