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J-GLOBAL ID：201502273021847564   整理番号：15A0506007

点回折干渉計によるEUV対物ミラーのサブnm精度波面測定

著者 (3件)： 砂山諒 (東北大 多元物質科研) ,  豊田光紀 (東北大 多元物質科研) ,  柳原美廣 (東北大 多元物質科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.11P-A26-9  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 波面 ,  対物レンズ ,  *干渉計 ,  *波面収差 ,  系統誤差 ,  ピンホール ,  中心
準シソーラス用語： *点回折干渉計 ,  光軸

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 点 ,  回折 ,  干渉計 ,  EUV ,  ミラー ,  サブ ,  波面