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J-GLOBAL ID：201502273899299375   整理番号：15A0228729

DC非平衡マグネトロンスパッタリング及びスプレー熱分解窒化により堆積した酸窒化ジルコニウム被覆の耐食性

Corrosion resistance of zirconium oxynitride coatings deposited via DC unbalanced magnetron sputtering and spray pyrolysis-nitriding

著者 (3件)： CUBILLOS G.I. (Dep. of Chemistry, Group of Materials and Chemical Processes, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 No 45-03 ...) ,  BETHENCOURT M. (Dep. of Materials Sci., Metallurgy Engineering and Inorganic Chemistry, International Campus of Excellence of the ...) ,  OLAYA J.J. (Fac. of Engineering, Group of Materials and Chemical Processes, Universidad Nacional de Colombia, Av. Cra. 30 No ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 327  ページ： 288-295  発行年： 2015年02月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZrO_xN_y/ZrO₂薄膜をステンレス鋼上に二つの異なった方法で堆積した。超音波スプレー熱分解窒化法(SPY-N)及びDC非平衡マグネトロンスパッタリング法(UBMS)。前者を使用して先ずZrO₂を堆積し,次いで大気圧において1023Kの無水アンモニア雰囲気中で窒化した。UBMSに対しては,膜はΦ_air/Φ_Ar流量比3.0の空気/アルゴン雰囲気中で堆積した。構造分析をX線回折(XRD)により行い,モルフォロジー分析は走査電子顕微鏡(SEM)及び原子間力顕微鏡(AFM)により行った。化学分析はX線光電子分光法(XPS)により行った。ZrO_xN_y菱面体多結晶膜をスプレー熱分解-窒化により作製し,一方UBMS法を使用して酸窒化膜は(222)面に沿って優先配向した立方晶Zr₂ON₂結晶構造で成長させた。表面の化学分析によると被覆は酸窒化ジルコニウム/ジルコニアに特有なZr3d,O1s,及びN1sのスペクトル線を示した。SEM分析は膜の一様性を示し,AFMは被覆の堆積法によるモルフォロジーの違いを示した。酸窒化ジルコニウム膜は両堆積法の使用によるステンレス鋼の耐食性の向上を示した。保護の有効性を直線偏光(LP)に基づいた電気化学的方法を使用して評価した。その結果,この層は塩素を含む媒質に曝露したとき良好な耐食性を示すことが分かった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 酸化ジルコニウム ,  *窒化物 ,  *ジルコニウム化合物 ,  *酸化物 ,  *オーステナイト系ステンレス鋼 ,  防食 ,  *耐食性 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *熱分解 ,  スプレー塗装 ,  *窒化 ,  スパッタ蒸着 ,  X線光電子スペクトル ,  *セラミック被覆 ,  腐食試験 ,  塩化物
準シソーラス用語： 316Lステンレス鋼 ,  *酸窒化ジルコニウム ,  *超音波スプレー熱分解

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (9件)： DC ,  非平衡 ,  マグネトロンスパッタリング ,  スプレー熱分解 ,  窒化 ,  堆積 ,  酸窒化 ,  ジルコニウム ,  耐食性