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J-GLOBAL ID：201502274033462869   整理番号：15A0706443

チタン基板のレーザ誘起酸化:表面及びサブ表面層の物理化学構造解析

Laser-induced oxidation of titanium substrate: Analysis of the physicochemical structure of the surface and sub-surface layers

著者 (7件)： ANTONCZAK Arkadiusz J. (Laser and Fiber Electronics Group, Fac. of Electrical Engineering, Wroclaw Univ. of Technol., Wyb. Wyspianskiego 27 ...) ,  SKOWRONSKI Lukasz (Inst. of Mathematics and Physics, Univ. of Technol. and Life Sciences, Kaliskiego 7, 85-789 Bydgoszcz, POL) ,  TRZCINSKI Marek (Inst. of Mathematics and Physics, Univ. of Technol. and Life Sciences, Kaliskiego 7, 85-789 Bydgoszcz, POL) ,  KINZHYBALO Vasyl V. (Wroclaw Res. Centre EIT+, Stablowicka 147, 54-066 Wroclaw, POL) ,  KINZHYBALO Vasyl V. (Inst. of Low Temperature and Structure Res., Okolna 2, 50-422 Wroclaw, POL) ,  LAZAREK Lukasz K. (Laser and Fiber Electronics Group, Fac. of Electrical Engineering, Wroclaw Univ. of Technol., Wyb. Wyspianskiego 27 ...) ,  ABRAMSKI Krzysztof M. (Laser and Fiber Electronics Group, Fac. of Electrical Engineering, Wroclaw Univ. of Technol., Wyb. Wyspianskiego 27 ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 325  ページ： 217-226  発行年： 2015年01月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,雰囲気環境中でナノ秒パルスレーザを照射したチタン表面の加熱プロセス中にできた層の複雑な化学構造の解析結果を報告する。この研究は,電着した高純度の多結晶チタン基板に対して,Yb:ガラスファイバレーザを用いて行った。全測定は,広い範囲の累積フルエンスで,アブレーション閾値以下の試料照射に対して行った。酸窒化層と基板の双方の複素屈折率が,累積フルエンスの関数として如何に変動するかを決定した。また,チタン上に生成された透明膜の最上層は,従来予測したような,純粋なTiO₂でないことが分かった。XPSとXRD分析により,窒素化合物の存在と非化学量論化合物の存在を確認した。試料表面を,Ar⁺イオン銃でスパッタすることにより,層の断面の関数としての個々の元素の濃度変化を決定した。表面モルフォロジー分析も行い,何故層がクラックを生じ,基板から剥離するかを説明した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン ,  *基板 ,  電着 ,  *多結晶 ,  ファイバレーザ ,  *ナノ秒 ,  *パルスレーザ照射 ,  レーザ加熱 ,  *熱酸化 ,  *チタン化合物 ,  *酸化物 ,  *窒化物 ,  X線回折 ,  X線光電子スペクトル ,  *深さプロフィル ,  フルエンス ,  *複素屈折率 ,  酸化膜 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  *レーザアブレーション ,  被覆層
準シソーラス用語： 表面モルフォロジー

分類 (3件)： その他の表面処理  (WC08070F) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (7件)： チタン ,  レーザ誘起 ,  酸化 ,  サブ ,  表面層 ,  物理化学 ,  構造解析