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J-GLOBAL ID：201502274531591820   整理番号：15A0531682

低プルイン電圧グラフェンナノ電気機械スイッチ

Low pull-in voltage graphene nanoelectromechanical switch

著者 (6件)： SUN Jian (Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  KANETAKE Nozomu (Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  CHIKUBA Takuo (Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MURUGANATHAN Manoharan (Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MIZUTA Hiroshi (Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MIZUTA Hiroshi (Univ. Southampton, Southampton, GBR)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 114  号： 442(ED2014 138-152)  ページ： 39-43  発行年： 2015年01月29日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究で筆者等は,低プルイン電圧のグラフェンナノ電気機械(NEM)接触スイッチを開発した。最初に筆者等は二酸化ケイ素犠牲層の酸エッチングにより製作した局所トップ作動電極を持つNEMスイッチについて報告した。さらに,筆者等は酸エッチングプロセス無しにグラフェンNEMスイッチを製作する高分子犠牲スペーサを使った新しいボトムアップ工程を開発した。その結果,機械的性能の改良が達成できた。両方のスイッチで5V以下の低いプルイン電圧が実現した。これは通常の相補型MOS回路要求に両立できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 電圧 ,  *グラフェン ,  電気機械 ,  *スイッチ ,  ナノテクノロジー ,  二酸化ケイ素 ,  層 ,  ウェットエッチング ,  半導体 ,  半導体集積回路 ,  CMOS構造 ,  MEMS ,  *ナノメータ加工 ,  CMOS
準シソーラス用語： CMOS回路 ,  NEMS ,  *ナノスイッチ ,  プルイン電圧 ,  犠牲層 ,  湿式エッチング

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• O. Y. Loh and H. D. Espinosa, Nanoelectromechanical contact switches, Nature Nanotechnology, vol. 7, no. 5, pp. 283-295, May 2012.
• K. M. Milaninia, M. A. Baldo, A. Reina, and J. Kong, All graphene electromechanical switch fabricated by chemical vapor deposition, Applied Physics Letters, vol. 95, no. 18, p. 183105, 2009.
• S. M. Kim, E. B. Song, S. Lee, S. Seo, D. H. Seo, Y. Hwang, R. Candler, and K. L. Wang, Suspended few-layer graphene beam electromechanical switch with abrupt on-off characteristics and minimal leakage current, Applied Physics Letters, vol. 99, no. 2, p. 023103, 2011.
• M. Nagase, H. Hibino, H. Kageshima, and H. Yamaguchi, Graphene Based Nano Electro Mechanical Switch with High On/Off Ratio, Applied Physics Express, vol. 6, no. 5, p. 055101, 2013.
• P. Li, Z. You, G. Haugstad, and T. Cui, Graphene fixed-end beam arrays based on mechanical exfoliation, Applied Physics Letters, vol. 98, no. 25, p. 253105, 2011.

タイトルに関連する用語 (3件)： プルイン電圧 ,  グラフェン ,  電気機械