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J-GLOBAL ID：201502275803008726   整理番号：15A0345060

ミリメータスケール進行波ロータリー超音波モーター

Millimeter-Scale Traveling Wave Rotary Ultrasonic Motors

著者 (5件)： RUDY Ryan Q. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA) ,  RUDY Ryan Q. (Univ. Maryland, MD, USA) ,  SMITH Gabriel L. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA) ,  DEVOE Don L. (Univ. Maryland, MD, USA) ,  POLCAWICH Ronald G. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 1  ページ： 108-114  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 双方向回転のミリメータスケール進行波超音波モーター(TWUM)を,溶液デポジットしたチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)とウエハスケールめMEMSシステム製造技術を使って製作した。直径3mmmのモーターの回転速度は電圧,位相,周波数に依存して2000rpmに達し,消費電力は4mW以下である。周波数特性に非線形性は無く,位相制御でスロースタート駆動が可能である。圧電応答のインプリントを利用して,高速度,4V以下の低電圧スタート,1730rpmの直径2mmモーターを製作した。モーターの設計と製作についても記した。

シソーラス用語： マイクロモータ ,  進行波 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  セラミック ,  薄膜 ,  *超音波モータ ,  回転数 ,  周波数特性 ,  位相制御 ,  消費電力 ,  *MEMS ,  振動測定
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  ピエゾフィルム ,  レーザードップラー振動測定法 ,  回転速度

分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 進行波 ,  ロータリー ,  超音波モーター