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J-GLOBAL ID：201502276500126994   整理番号：15A0590909

モンテカルロ法に基づく高加速時のHドライブステージでの計測不確実性評価

Evaluation of measurement uncertainty in H-drive stage during high acceleration based on Monte Carlo method

著者 (6件)： LIU Yongmeng (Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering Inst., School of Electrical Engineering and Automation, Harbin ...) ,  YUAN Maoqiang (Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering Inst., School of Electrical Engineering and Automation, Harbin ...) ,  YUAN Maoqiang (Shanghai Aerospace Equipments Manufacturer, Shanghai 200245, CHN) ,  CAO Jieru (Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering Inst., School of Electrical Engineering and Automation, Harbin ...) ,  CUI Jiwen (Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering Inst., School of Electrical Engineering and Automation, Harbin ...) ,  TAN Jiubin (Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering Inst., School of Electrical Engineering and Automation, Harbin ...)
資料名： International Journal of Machine Tools & Manufacture  (International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻： 93  ページ： 1-9  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： C0568A  ISSN： 0890-6955  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,直線度誤差,熱的誤差,変形誤差及び加速力が齎す空気軸受ギャップ変動誤差を含む種々の誤差の影響下にある高加速時の空気軸受付Hドライブステージの測定精度を解析するために,モンテカルロ法を用いた測定不確実性評価用の集積誤差伝播解析法を提示した。最初に多体システムと計器精度理論に基づいて,種々の誤差源の影響を結合させたHドライブステージの集積誤差伝播モデルを構築した。次いで,これらの誤差を実験と有限要素解析で同定し,6自由度変位に於ける各誤差の影響を求めた。最後に,参照座標系に於ける本ステージの変位測定不確実性をモンテカルロ法によって評価したが,変位測定結果とx及びy方向での拡張不確実性は,確率95%以内でそれぞれx=(165.000±0.064)mm及びy=(195.000±0.054)mmであると計算された。提案した本法は精密機械設計の誤差割当に用い得るし,また精密機械ワークピースステージの測定及び制御の精度改善のための誤差補償に応用し得る。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *モンテカルロ法 ,  *不確実性 ,  加速 ,  伝搬 ,  *空気軸受
準シソーラス用語： ステージ ,  誤差伝播 ,  誤差補償 ,  *測定不確実性 ,  *不確実性評価

分類 (2件)： 計測学一般  (AD01000Q) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H)

タイトルに関連する用語 (6件)： モンテカルロ法 ,  加速 ,  ドライブ ,  ステージ ,  計測 ,  不確実性評価