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J-GLOBAL ID：201502276710937030   整理番号：15A0345052

面外静電伝達マイクロガラスブロウワイングラス共振器にたいする1ミリオンQファクタのデモンストレーション

Demonstration of 1 Million Q-Factor on Microglassblown Wineglass Resonators With Out-of-Plane Electrostatic Transduction

著者 (5件)： SENKAL Doruk (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  AHAMED Mohammed J. (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  ASADIAN Mohammad H. (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  ASKARI Sina (Univ. California at Irvine, CA, USA) ,  SHKEL Andrei M. (Univ. California at Irvine, CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 1  ページ： 29-37  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 面外電極構造のマイクロガラスブロー溶融シリカワイングラス共振器を製作した。7mmの直径で1ミリオンを超すQ係数と132ppmの高周波対称性を実験で示した。高いQ係数は,高アスペクト比,セルフアラインガラスブロウステム構造,注意深い表面処理,溶融シリカの内部損失が低いことによるものである。静電伝達は,面外電極方式を使った3Dワイングラス構造の空間的変形を検出することで可能になっている。面外電極方式で容量ギャップを決める犠牲層の使用が可能になり,7mmシェルでの10μm容量ギャップで9pF以上の動的容量ギャップになった。マイクロガラスブロウイングは高性能溶融シリカワイングラスジャイロスコープのバッチ生産を可能にし,コストは精密機械加工よりも大幅に小さい。

シソーラス用語： *MEMS ,  *共振器 ,  ジャイロスコープ ,  石英ガラス ,  *Q値 ,  アスペクト比 ,  数値解析
準シソーラス用語： Qファクタ ,  ワイングラス共振器 ,  高アスペクト比 ,  有限要素法解析 ,  溶融シリカ

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共振器 ,  Qファクタ ,  デモンストレーション