抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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超精密加工機には加圧空気を作動流体とする静圧軸受は重要な要素となっているが,コスト面や性能面で課題もある。これまでに樹脂モールドを用いた空気静圧軸受の簡易製作法を提案し検討を行ってきた。本研究では,樹脂モールド製の軸受を有する空気静圧軸受面によって支持する送りねじの試作とその性能評価を行った。まず試作した送りねじ系について,ねじ軸と送りねじ系の概要を示し,ジャーナル軸受とスラスト軸受,また2種類のナット及びナット軸受の詳細設計内容と,それらを使った送りねじ試作について示した。そして,2軸オートコリメータ及び2周波数干渉法レーザ測長器を用いて送りねじ系の運動精度を測定した。