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J-GLOBAL ID:201502277225820300   整理番号:15A0744625

樹脂モールド空気静圧軸受面を有する送りねじの試作と性能評価

A Prototype Production of Aerostatic Lead Screw with Resin Molded Bearing Surfaces and Performance Evaluation
著者 (1件):
資料名:
巻: 81  号:ページ: 570-575 (J-STAGE)  発行年: 2015年 
JST資料番号: U0462A  ISSN: 1882-675X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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超精密加工機には加圧空気を作動流体とする静圧軸受は重要な要素となっているが,コスト面や性能面で課題もある。これまでに樹脂モールドを用いた空気静圧軸受の簡易製作法を提案し検討を行ってきた。本研究では,樹脂モールド製の軸受を有する空気静圧軸受面によって支持する送りねじの試作とその性能評価を行った。まず試作した送りねじ系について,ねじ軸と送りねじ系の概要を示し,ジャーナル軸受とスラスト軸受,また2種類のナット及びナット軸受の詳細設計内容と,それらを使った送りねじ試作について示した。そして,2軸オートコリメータ及び2周波数干渉法レーザ測長器を用いて送りねじ系の運動精度を測定した。
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分類 (1件):
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軸受 
引用文献 (13件):
  • 1) 大滝俊夫:ボールねじの開発と歴史,精密工学会誌, 55, 3 (1989) 476.
  • 2) J. H. Rumbarger et al. : First design information on Hydrostatic Lead Screw, Machine Design, April 11 (1968) 2184.
  • 3) 薄木雅雄ほか:静圧機素に関する研究(II),不二越技報, 37, 1 (1981) 25.
  • 4) 石原直:静圧空気ねじにおける高性能化技術,精密工学会誌, 61, 3 (1995) 339.
  • 5) 小林功 ほか:全静圧空気潤滑テーブルシステムの開発,日本機械学会論文集 (C編), 51, 467 (1985) 1647.
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