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J-GLOBAL ID：201502277688581401   整理番号：15A0591096

双方向形状記憶効果のある機能傾斜Ni-Ti2層薄膜の相変態と構造

Phase transformation and structure of functionally graded Ni-Ti bi-layer thin films with two-way shape memory effect

著者 (4件)： MOHRI Maryam (School of Metallurgy and Materials Engineering, Coll. of Engineering, Univ. of Tehran, Tehran, IRN) ,  MOHRI Maryam (Inst. of Nanotechnology, Karlsruhe Inst. of Technol., 76021 Karlsruhe, DEU) ,  NILI-AHMADABADI Mahmoud (School of Metallurgy and Materials Engineering, Coll. of Engineering, Univ. of Tehran, Tehran, IRN) ,  NILI-AHMADABADI Mahmoud (Center of Excellence for High Performance Materials, Univ. of Tehran, Tehran, IRN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 228  ページ： 151-158  発行年： 2015年06月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ni-Ti薄膜形状記憶合金は優れた機械的特性と生体適合性があり,微細作動装置の有望な材料である。組成傾斜のある膜は固有の双方向形状記憶効果の特徴が加わる。2種類のNi-Ti2層薄膜(Ni_50.8Ti/Ni₄₅TiCu₅とNi_50.8Ti/Ni₄₉Ti)を開発した。これらの薄膜は別々のターゲットからSi(111)基板にRFマグネトロンスパッタで堆積した。原子組成がNi₄₅Ti,Ni₄₇Ti,Ni₄₂TiCu₅の3つのターゲットを真空アーク再溶融で準備した。結晶化のため,堆積した非晶質膜は773Kで1時間アニールした。アニールした2層薄膜は膜界面での拡散により組成勾配ができた。膜構造,表面組織,変態温度,機械的性質への組成の影響を,すれすれ入射X線解析,透過電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,電気抵抗とナノ圧入を用いて調べた。2層膜の化学的及び応力の勾配が構造,相変態と形状記憶効果に影響した。この薄膜は多段階の相変態を示した。またこの2層膜は疑似弾性と形状記憶効果を同時に示した。Ni_50.8Ti/Ni₄₅TiCu₅の疑似弾性による深さ回復比はNi_50.8Ti/Ni₄₉Ti2層膜に比べて高く,形状記憶の回復比はNi_50.8Ti/Ni₄₉Ti2層膜の方が高かった。疑似弾性と形状記憶効果の組み合わせはこの2層膜において低減したヒステリシスの双方向形状記憶効果を生じた。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 形状記憶効果 ,  *性質 ,  *傾斜機能材料 ,  *形状記憶合金 ,  相変態 ,  多層膜 ,  焼なまし ,  拡散 ,  擬弾性
準シソーラス用語： *Ni-Ti形状記憶合金 ,  Ni-Ti系形状記憶合金 ,  アニール処理 ,  二層膜 ,  界面拡散 ,  *機能傾斜材料 ,  組成傾斜 ,  *双方向性

分類 (2件)： その他の金属組織学  (WB01040Y) ,  金属相変態  (CB03020W)

タイトルに関連する用語 (5件)： 双方向 ,  形状記憶効果 ,  Ni ,  薄膜 ,  相変態