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J-GLOBAL ID：201502280064420072   整理番号：15A0419106

ナノサイズ炭化ケイ素の常圧マイクロ波プラズマ合成

Microwave-plasma synthesis of nano-sized silicon carbide at atmospheric pressure

著者 (6件)： VAN Laar J.H. (Thermoflow Group, Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Built Environment and Information Technol. ...) ,  SLABBER J.F.M. (Thermoflow Group, Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Built Environment and Information Technol. ...) ,  MEYER J.P. (Thermoflow Group, Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Built Environment and Information Technol. ...) ,  VAN der Walt I.J. (Applied Chemistry Div., South African Nuclear Energy Corp. (NECSA), Pelindaba, North West Province, South Africa) ,  PUTS G.J. (Fluoro-Materials Group, Dep. of Chemical Engineering, Fac. of Engineering, Built Environment and Information ...) ,  CROUSE P.L. (Fluoro-Materials Group, Dep. of Chemical Engineering, Fac. of Engineering, Built Environment and Information ...)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 41  号： 3 PB  ページ： 4326-4333  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiCナノ粒子の合成のために常圧マイクロ波プラズマ法を開発した。完全な還元反応環境を確保するために追加の水素を供給すると共に,炭素およびシリコン源と作用する前駆体として,メチルトリクロロシラン(MTS)を用いた。さらに,キャリアガスとしてアルゴンを供給した。H₂:MTSモル比および総エンタルピーのパラメータ研究を,それぞれ,0~10および70~220MJ/kgの範囲で行った。SEMおよびTEM観察により,粒サイズ分布は15~140nm範囲と測定された。エンタルピーおよびH₂:MTSモル比が高いほど,SiC粒サイズは微細化した。プロセス中に粒子の凝集が起り,凝集サイズが粗大になった。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  ナノ粒子 ,  *プラズマ合成 ,  圧力 ,  キャリアガス ,  アルゴン ,  炭素 ,  ケイ素 ,  *微細構造 ,  反応生成物 ,  相組成 ,  結晶構造 ,  粒径 ,  粒度分布 ,  凝集 ,  モル比 ,  エンタルピー ,  分散分析 ,  実験計画法 ,  電子顕微鏡観察 ,  X線回折分析
準シソーラス用語： *マイクロ波プラズマ ,  常圧 ,  還元反応 ,  水素還元 ,  シリコン ,  微細組織 ,  ANOVA ,  走査電子顕微鏡法

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

物質索引 (1件)： メチルトリクロロシラン

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノサイズ ,  炭化ケイ素 ,  常圧 ,  マイクロ波プラズマ