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J-GLOBAL ID：201502280696464989   整理番号：15A0262021

アンテナ結合ボロメータのための統合したヒータとサーミスタの製作と解析モデリング

Fabrication and analytical modeling of integrated heater and thermistor for antenna-coupled bolometers

著者 (6件)： TIWARI Ajay (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8011, JPN) ,  SATOH Hiroaki (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8011, JPN) ,  AOKI Makoto (Graduate School of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8561, JPN) ,  TAKEDA Masanori (Graduate School of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8561, JPN) ,  HIROMOTO Norihisa (Graduate School of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8561, JPN) ,  INOKAWA Hiroshi (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8011, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 222  ページ： 160-166  発行年： 2015年02月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テラヘルツ波を検出するためアンテナ結合ボロメータでの使用を想定し,統合したヒータとサーミスタをシリコン(Si)基板上にチタニウム(Ti)で製作し,そしてその電気応答性を室温で調査した。サーミスタとヒータのサイズと材料特性に及ぼすマイクロボロメータの応答性の依存性を確立するため,解析モデルを熱的に独立したヒータの電流による温度上昇および結果的電気抵抗の増加を記述するため作った。ヒータ抵抗の挙動をモデルにより成功裏に再現できたけれども,応答性は,長いヒータの遅い応答速度の影響を暗示して,短いヒータ長さのボロメータでだけ一致した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： アンテナ ,  *ボロメータ ,  加熱器 ,  *サーミスタ ,  電磁波 ,  ウエハ【IC】 ,  チタン ,  応答特性 ,  特性 ,  依存性 ,  解析モデル ,  昇温 ,  電気抵抗 ,  速度 ,  モデリング ,  テラヘルツ波 ,  マイクロボロメータ ,  応答速度 ,  材料特性 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： シリコン基板

分類 (2件)： 電磁気学一般  (BD01020N) ,  オペレーションズリサーチ一般  (KA03010Q)

タイトルに関連する用語 (8件)： アンテナ ,  ボロメータ ,  統合 ,  ヒータ ,  サーミスタ ,  製作 ,  解析 ,  モデリング