文献

J-GLOBAL ID：201502280892192571   整理番号：15A0286523

多層構造の構造解析を目指す非接触なシングルショット断層イメージング技術

著者 (1件)： 塩田達俊 (埼玉大 大学院理工学研究科)
資料名： 塗装工学  (Journal of Japan Coating Technology Association)
巻： 50  号： 2  ページ： 60-67  発行年： 2015年02月28日 
JST資料番号： S0871A  ISSN： 0285-3787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来技術の欠点を克服した2次元断層画像をシングルショット計測するシステムを考案した。シングルショット2次元断層計測の原理を示したうえで,光周波数コム干渉による複数の干渉次数を用いて広い計測範囲のシングルショット2次元断層計測の実験結果を示した。,機械的可動部や演算は不要である。高分解能性能を有する。

シソーラス用語： 多層構造 ,  構造解析 ,  非接触測定 ,  *断層画像 ,  応力 ,  *周波数 ,  干渉計 ,  変調器 ,  空間光変調素子 ,  回折格子 ,  イメージセンサ ,  高分解能 ,  連続スペクトル ,  計測
準シソーラス用語： 3D画像計測 ,  スーパーコンティニウム ,  二次元応力 ,  位相変調器 ,  光空間変調器 ,  *光周波数コム

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

引用文献 (10件)：

• H. Hakasaki : Appl. Opt., 9, 1467, (1970)
• D. M. Meadows, W. O. Johnson, and J. B. Allen: Appl. Opt., 9, 942, (1970)
• L. Deck and P. d. Groot : App. Opt., 33, (31), 7334, (1994)
• R. Leitgeb, M. Wojtkowski, A. Kowalczyk, C. K. Hitzenberger, M. Sticker, and A. F. Fercher : Opt. Lett., 25, (11) 820, (2000)
• S. Choi, M. Yamamoto, D. Moteki, T. Shioda, Y. Tanaka, and T. Kurokawa : Opt. Lett., 31, (13), 1976, (2006)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多層構造 ,  構造解析 ,  非接触 ,  ショット ,  断層 ,  イメージング技術