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J-GLOBAL ID：201502281123267816   整理番号：15A0660456

フレキシブル,透明,超低電力エレクトロニクスおよびセンサのための完全高分子NEMリレー

FULLY-POLYMERIC NEM RELAY FOR FLEXIBLE, TRANSPARENT, ULTRA-LOW POWER ELECTRONICS AND SENSORS

著者 (3件)： PAN Yanbiao (Rutgers, State Univ. New Jersey, NJ, USA) ,  YU Fangzhou (Rutgers, State Univ. New Jersey, NJ, USA) ,  JEON Jaeseok (Rutgers, State Univ. New Jersey, NJ, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.2  ページ： 940-943  発行年： 2015年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 導電性ポリマ,Poly(3,4-Ethylenedioxythiophene):ポリスチレン-スルホン酸エステル(PEDOT:PSS)は,太陽電池,光透明性(可視スペクトルにて90%以上)および比較的高導電率(~10³S/cm)により酸化スズ(ITO)に置換わる候補として薄膜トランジスタに使用するため開発されている。本稿では,PEDOT:PSSを電極,センシング層およびナノエレクトロメカニカル(NEM)リレーのための絶縁体としてポリマ誘電体を提案した。それは,フレキシブル,透明性および超低電力エレクトロニクスおよびセンサを可能にした。また,5マスク低熱予算プロセスにて作成した機能プイロトタイプを示した。リレーは,低ダイナミック電力消費を達成する低電源(100mV以下)でスイッチ動作した。

シソーラス用語： *高分子 ,  *薄膜トランジスタ ,  導電性高分子 ,  消費電力 ,  電子技術 ,  *センサ ,  スイッチ ,  太陽電池 ,  性質 ,  電気伝導率 ,  酸化スズ
準シソーラス用語： エレクトロニクス ,  リレー ,  超低電力 ,  透明性 ,  導電性ポリマ ,  導電率

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  高分子の物性一般  (CG02001Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 低電力エレクトロニクス ,  高分子 ,  NEM ,  リレー