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J-GLOBAL ID：201502281318714230   整理番号：15A0601385

白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発

著者 (5件)： 佐藤圭輔 (豊橋技科大) ,  山本紘太 (豊橋技科大) ,  永井萌土 (豊橋技科大) ,  川島貴弘 (豊橋技科大) ,  柴田隆行 (豊橋技科大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M69  発行年： 2015年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,加工対象である固体表面と雰囲気物質(液体)の化学反応を“触媒”によって促進し,かつ当該反応をナノ空間内に制御することで,位置選択的に材料除去(化学エッチング)を行う新規なナノ加工技術を提案する。本報では,原子間力顕微鏡(AFM)のSi製プローブ表面に機能性触媒である白金(Pt)を被覆し,水中での単結晶Siのナノ化学加工の可能性を検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： 白金触媒 ,  *原子間力顕微鏡 ,  ナノテクノロジー ,  *エッチング ,  *ナノメータ加工 ,  *ケイ素 ,  微細加工
準シソーラス用語： 単結晶シリコン

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 白金触媒 ,  AFM ,  プローブ ,  ナノ化学 ,  開発