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J-GLOBAL ID：201502282063690346   整理番号：15A0446792

誤差要因と測定精度の向上-2枚のスペックルパターンのみを用いたスペックル干渉計測法-

著者 (1件)： 新井泰彦 (関西大 工)
資料名： 機械の研究  (Science of Machine)
巻： 67  号： 4  ページ： 297-306  発行年： 2015年04月01日 
JST資料番号： F0147A  ISSN： 0368-5713  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,スペックル干渉計測法の測定精度の改善を目指して,参照光に,変形前後2枚の平面波スペックルパターンのみを用いて,高分解能変形計測を行う手法について,光学系の各種設定条件の検討結果を報告した。結果として,参照光強度と物体光強度の比,スペックル径など,いくつかの条件設定により,測定時の縞画像信号のS/N比が変化すること,そしてS/N比が測定結果に影響すること,を明らかにした。結果的に,このS/N比の改善が測定精度の向上をもたらすことを示唆した。

シソーラス用語： *スペックル干渉法 ,  *測定精度 ,  干渉縞 ,  SN比 ,  改良 ,  精度 ,  スペックル ,  ホログラフィー ,  ディジタル方式

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  計測学一般  (AD01000Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 誤差要因 ,  測定精度 ,  スペックルパターン ,  スペックル干渉計測