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J-GLOBAL ID：201502282723943331   整理番号：15A0384277

大面積高感度光パワー精密計測器としてのバイメタルMEMS方式カロリメータの検討

Study on Bimetal MEMS Calorimeter as Optical Power Standard with High Sensitivity and Large Sensitive Area

著者 (5件)： 雨宮邦招 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  福田大治 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  沼田孝之 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  田辺稔 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  座間達也 (産業技術総合研 計測標準研究部門)
資料名： 熱物性  (日本熱物性学会会誌)
巻： 29  号： 1  ページ： 19-26  発行年： 2015年02月28日 
JST資料番号： X0597A  ISSN： 0913-946X  CODEN： NEBUE4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高感度な熱型光検出器としてのバイメタルMEMSカロリメータの実現可能性について検討した。標準的なMEMS製造プロセスで作製できる構造のうち,5mm×5mmに及ぶ大面積のバイメタルセンサについて熱-機械的特性を有限要素法数値計算で評価した。その結果いくつかの設計において,同サイズの従来型熱電モジュール方式熱型光センサと比べて,等価ノイズパワーを一桁以上小さくできることを見出した。試作したセンサを評価した結果もそれを支持するものであった。これにより,高スループットな絶対分光パワー測定につながるものと期待できる。(著者抄録)

シソーラス用語： *熱量計 ,  *MEMS ,  *バイメタル ,  *光検出器 ,  光センサ ,  *物理的性質 ,  有限要素法 ,  *雑音
準シソーラス用語： *カロリーメータ【熱量計】 ,  *熱機械的特性

分類 (3件)： 熱量測定,熱量計  (AD06030G) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F) ,  金属のその他の熱的性質  (BL05030Y)

引用文献 (20件)：

• [1] Y. Ohno; “Photometry” in Optical Radiometry, Experimental Methods in the Physical Sciences, ed. A.C.Parr, R.U.Datla, and J.L.Gardner Vol.41 (2005) 327-366, Elsevier Inc., San Diego.
• [2] N. Fox, J.P. Rice; “Absolute Radiometers” in Optical Radiometry, Experimental Methods in the Physical Sciences, ed. A.C.Parr, R.U.Datla, and J.L.Gardner Vol.41 (2005) 327-366, Elsevier Inc., San Diego.
• [3] K. Amemiya, S. Mukai, Y. Ichino, T. Zama, S. Kück, B. Hartree, and A. Deadman; "Final report on APMP.PR-S4: Comparison of fiber optic power meter responsivity", Metrologia, 48 (2011) 02004.
• [4] T. Inoue, I. Yokoshima, and A. Hiraide; "Highly Sensitive Calorimeter for Microwatt-Level Laser Power Measurements", IEEE Trans. Instrum. Meas., 36 (1987) 623-626.
• [5] K. Amemiya, D. Fukuda, T. Numata, M. Tanabe, and Y. Ichino; "Comprehensive characterization of broadband ultralow reflectance of a porous nickel-phosphorus black surface by numerical simulation", Appl. Opt., 51 (2012) 6917-6925.

タイトルに関連する用語 (7件)： 大面積 ,  高感度 ,  光パワー ,  精密計測 ,  バイメタル ,  MEMS ,  カロリメータ