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J-GLOBAL ID:201502283682610230   整理番号:15A0660376

小型走査型共焦点蛍光顕微鏡法のためのファイバー製反射式微小対物レンズ

FIBERED REFLECTIVE MICRO OBJECTIVES FOR MINIATURIZED SCANNING CONFOCAL FLUORESCENCE MICROSCOPY
著者 (9件):
資料名:
巻: 28th Vol.2  ページ: 632-635  発行年: 2015年 
JST資料番号: W0377A  ISSN: 1084-6999  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文は,走査型共焦点蛍光顕微鏡を小型化するために新しい反射式微小対物レンズ(RMO)を製作,実証した報告である。十分に調整された形状と曲率半径を持ち,滑らかな光学的反射をもたらす球形の金属ミラー表面をMEMSプロセスで製作することは非常に困難であった。著者らはインクジェット印刷法とステンシル版リソグラフィー法の2つの微小加工法を組み合わせて,上記の課題を克服する新しい製造方法を提案した。RMOはマイクロレンズに勝る利点があり,蛍光顕微鏡に必要な高解像度と高感度の要求に対して,2つの反射面が収差補正された光学系を設計する上で自由度をもたらしてくれた。著者らはさまざまな走査周期で試験構造を用いて実験し,成功裏に蛍光画像を得て微小光学系について実証した。
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分類 (2件):
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光学的測定とその装置一般  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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