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J-GLOBAL ID:201502283733595818   整理番号:15A0743465

波長選択面としての自立NiW合金膜の微小加工

Microfabrication of a Free-Standing NiW Alloy Film as a Wavelength-Selective Surface
著者 (3件):
資料名:
巻: 12  号:ページ: 814-819  発行年: 2015年05月 
JST資料番号: W2377A  ISSN: 1546-1955  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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熱光起電(TPV)用エミッタなど波長選択面の利用が注目されている。NiW膜は,優れた靭性,延性を有している。NiWメッキとSiロスト成形を組み合わせた自立NiW合金膜の製造法を提案した。本基板の構造を説明し,製造プロセスを説明した。得られたNiW合金膜のSEM画像を示した。NiW合金膜のFTIR測定,熱放射及びTPV生成実験を行った。その結果,吸収ピーク波長を1.4μmにおけるTPVの出力を確認し,TPVシステムのエネルギー変換効率向上が得られたことを示した。
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  光導電素子  ,  熱電デバイス 
タイトルに関連する用語 (3件):
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