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J-GLOBAL ID:201502284243199970   整理番号:15A0572479

発光高分子の超低粗さMAPLE蒸着膜:スピンコーティングの代替

Very low roughness MAPLE-deposited films of a light emitting polymer: an alternative to spin coating
著者 (13件):
資料名:
巻: 48  号: 13  ページ: 135501,1-8  発行年: 2015年04月10日 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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オプトエレクトロニクスやスピントロニクスなどのナノ素子への応用を目的とした有機薄膜が注目されている。様々な析出法を使って,高分子薄膜,多層膜,あるいは,有機無機複合膜などの高機能薄膜の作製が行われている。最近,非破壊的レーザ利用技術であるマトリックス支援パルスレーザ蒸発(MAPLE)法による蒸着技術による有機薄膜の製作に興味が持たれている。しかしながら,この方法によって作製された膜は,通常,非常に大きな表面粗さを示すことがこの技術の高性能薄膜素子への適用を難しくしている。本研究では,このMAPLEを用いて表面粗さが非常に小さな有機薄膜の作製に成功したことについて報告する。さらに,作製した薄膜を使い緑色発光ダイオードを作製した。原子間力顕微鏡,表面粗さ推定,光学吸収および蛍光測定を用いて,高分子濃度,ターゲット基板間距離,基板回転速度などのパラメータに関して,MAPLE蒸着による薄膜作製の最適化について論じた。
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分類 (1件):
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発光素子 

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