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J-GLOBAL ID：201502284569840080   整理番号：15A0505786

Cuキャップ層を持つCo触媒からの固相析出による多層グラフェン形成

著者 (6件)： 佐野翔太 (芝浦工大) ,  北村啓太 (芝浦工大) ,  松本勇士 (芝浦工大) ,  酒井忠司 (超低電圧デバイス技術研究組合) ,  上野和良 (芝浦工大) ,  上野和良 (SITグリーンイノベーション研究セ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.11A-P6-8  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *析出 ,  コバルト化合物 ,  遷移金属触媒 ,  保護膜 ,  *グラフェン ,  電子顕微鏡観察 ,  薄膜成長 ,  銅 ,  エッチング ,  コバルト触媒 ,  走査電子顕微鏡法 ,  *多層グラフェン
準シソーラス用語： キャップ層 ,  *固相析出

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： Cu ,  キャップ層 ,  CO ,  触媒 ,  固相 ,  析出 ,  多層グラフェン