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J-GLOBAL ID：201502285355962206   整理番号：15A0185204

アプタセンサで使用する薄いSU-8マイクロカンチレバーの製造歩留りを改良する手順

A protocol for improving fabrication yield of thin SU-8 microcantilevers for use in an aptasensor

著者 (6件)： LIM Yang Choon (Deakin Univ., School of Engineering, Pigdons Road, Waurn Ponds, 3216, Geelong, VIC, AUS) ,  KOUZANI Abbas Z. (Deakin Univ., School of Engineering, Pigdons Road, Waurn Ponds, 3216, Geelong, VIC, AUS) ,  KAYNAK Akif (Deakin Univ., School of Engineering, Pigdons Road, Waurn Ponds, 3216, Geelong, VIC, AUS) ,  DAI Xiujuan J. (Deakin Univ., Inst. for Frontier Materials, Pigdons Road, Waurn Ponds, 3216, Geelong, VIC, AUS) ,  LITTLEFAIR Guy (Deakin Univ., School of Engineering, Pigdons Road, Waurn Ponds, 3216, Geelong, VIC, AUS) ,  DUAN Wei (Deakin Univ., School of Medicine, Pigdons Road, Waurn Ponds, 3216, Geelong, VIC, AUS)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 21  号： 2  ページ： 371-380  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SU-8ネガフォトレジストは,マイクロフルイディクスやMEMSの製作に広く使われている。これは,限られた装置を使った製作容易性,生体適合性,優れた化学耐性,およびシリコンプロセスとの適合性のためである。さらに,そのシリコンと比べて低いYoung率はマイクロカンチレバー構造の製作,特にセンサへの応用に優れてた材料としている。本稿では,薄膜SU-8マイクロカンチレバー開発用の製作手順について報告した。SU-8マイクロカンチレバーの製造歩留りに影響を与えるベーク温度やリリース法のような因子を考慮した。有限要素法を使ってSU-8構造の変形に対するベーク温度の影響を検討し,実験により検証した。フルオロカーボン膜と使ったドライリリース法とOmniCoat犠牲層およびポリメチルメタクリレート(PMMA)犠牲層を使う二つのリリース法を含む三つのリリース法について調べた。PMMA犠牲層を使うウェットリリース法が最高の歩留りを示した。SU-8マイクロカンチレバーを使ってアプタセンサ製作し,スロンビン検出にそのたわみを測定した。Copyright 2013 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *バイオセンサ ,  *フォトレジスト ,  片持梁 ,  *歩留り ,  生体適合性 ,  耐化学性 ,  Young率 ,  層 ,  トロンビン ,  有限要素法 ,  計測 ,  たわみ
準シソーラス用語： *SU-8 ,  *アプタセンサ ,  たわみ測定 ,  マイクロカンチレバー ,  化学耐久性 ,  犠牲層 ,  *製造歩留り

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  バイオアッセイ  (EA03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： アプタセンサ ,  SU-8 ,  マイクロカンチレバー ,  製造歩留り ,  手順