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J-GLOBAL ID：201502286242105435   整理番号：15A0452447

原子層堆積により多層カーボンナノチューブ上に析出させたTiO₂の核生成と成長を理解し,制御する

Understanding and Controlling Nucleation and Growth of TiO₂ Deposited on Multiwalled Carbon Nanotubes by Atomic Layer Deposition

著者 (6件)： ZHANG Yucheng (Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol. (EMPA), Duebendorf, CHE) ,  GUERRA-NUNEZ Carlos (Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol. (EMPA), Thun, CHE) ,  UTKE Ivo (Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol. (EMPA), Thun, CHE) ,  MICHLER Johann (Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol. (EMPA), Thun, CHE) ,  ROSSELL Marta D. (Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol. (EMPA), Duebendorf, CHE) ,  ERNI Rolf (Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol. (EMPA), Duebendorf, CHE)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 119  号： 6  ページ： 3379-3387  発行年： 2015年02月12日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TEMを用いて多層カーボンナノチューブ(MW-CNT)上のTiO₂の系統的なキャラクタリゼーションを行った。本研究では,収差補正TEMを用いて,200°Cの高温で成長した結晶性核を原子スケールで調べた。ビーム誘起結晶化やノックオンダメージによる無定形化を避けるため,120keVの遅い加速電圧を用いた。MW-CNT上のTiO₂の核生成と成長に及ぼす温度,ALDサイクル数およびCNT表面の前処理の効果を調べた。析出条件を調節して,CNT上の核生成と成長を制御した。200°Cの低いALD成長温度で,CNTに適合する高品質の結晶性アナターゼを得た。核生成の非常に初期の段階で結晶性TiO_xの島構造を明らかにした後,この温度で結晶性アナターゼの合体した成長を明らかにした。

シソーラス用語： *酸化チタン ,  *化学蒸着 ,  *多層カーボンナノチューブ ,  *核形成 ,  結晶化 ,  島状構造 ,  アナターゼ ,  結晶成長
準シソーラス用語： *二酸化チタン ,  *原子層堆積

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 原子層堆積 ,  多層カーボンナノチューブ ,  析出 ,  TiO2 ,  核生成 ,  成長 ,  理解