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J-GLOBAL ID：201502287188044600   整理番号：15A0548964

Cameca IMS-1280 SIMSを使用した酸素同位体測定に対するトポグラフィー効果の物理的機構解読

Deciphering the physical mechanism of the topography effect for oxygen isotope measurements using a Cameca IMS-1280 SIMS

著者 (6件)： TANG Guo-Qiang (State Key Lab. of Lithospheric Evolution, Inst. of Geology and Geophysics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...) ,  LI Xian-Hua ,  LI Qiu-Li ,  LIU Yu ,  LING Xiao-Xiao ,  YIN Qing-Zhu
資料名： Journal of Analytical Atomic Spectrometry  (Journal of Analytical Atomic Spectrometry)
巻： 30  号： 4  ページ： 950-956  発行年： 2015年04月25日 
JST資料番号： C0770C  ISSN： 0267-9477  CODEN： JASPE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 試料マウントの表面状態はSIMS同位体分析精度に影響を与える重要な因子である。試料トポグラフィーが分析精度に影響する現象をトポグラフィー効果と呼ぶ。トポグラフィー効果の様なアーチファクトの下でその物理的機構を理解し,分析精度を向上する目的をもって,Cameca IMS-1280 SIMSを用いて酸素同位体分析の系統的実験を行い,トポグラフィー効果を定量的に解析した。鉱物粒子において,トポグラフィー効果は試料ステージのX軸方向(水平方向)で表れ,Y軸方向(縦方向)では有意ではない。単一鉱物粒子において,使用された装置では,トポグラフィー効果は左リム(低X座標)上に分析スポットを創り,右リム(高X座標)上でのスポットに比べ高いδ¹⁸Oをあたえる。トポグラフィー効果が分析精度を低下させる物理的理由は表面トポグラフィーがイオン導入スリット面でのイオン位置を変化させることによる二次イオンの水平方向エネルギー分散によるものである。移動光学倍率を上げることにより,トポグラフィー効果を抑制できる。ビームセンタリングパラメータを使用し,トポグラフィー効果を定量的に評価し,データ品質を向上した。Copyright 2015 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *トポグラフィー【形態】 ,  *二次イオン質量分析 ,  *酸素同位体 ,  アーチファクト ,  *エネルギー散逸 ,  改良
準シソーラス用語： SIMS【質量分析】 ,  アーチファクト低減 ,  エネルギー分散 ,  精度向上

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (6件)： IMS ,  SIMS ,  酸素同位体 ,  トポグラフィー ,  物理 ,  解読