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J-GLOBAL ID：201502287316219604   整理番号：15A0613799

コロナ放電型イオナイザ用直流高圧電源の簡易電圧制御法の設計

On a simple voltage control method design of high-voltage d-c power supply for corona discharge ionizers

著者 (5件)： 菅谷純一 (仙台高専) ,  服部正行 (仙台高専) ,  大泉哲哉 (仙台高専) ,  斉藤智克 (シシド静電気) ,  和泉健吉 (シシド静電気)
資料名： 設計工学  (日本設計工学会誌)
巻： 50  号： 5  ページ： 251-258  発行年： 2015年05月05日 
JST資料番号： S0898A  ISSN： 0919-2948  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子デバイスの製作過程では,帯電による静電気障害が発生し,この障害を防ぐ静電気対策の一つとしてイオナイザによる静電気除去(除電)が挙げられると述べ,現在,広く利用されているコロナ放電型イオナイザについて解説した。このコロナ放電型イオナイザは,電源方式の違いにより,イオンバランス,オゾン発生,除電時間,電源の小型化等の問題があると解説した。本稿では,コロナ放電イオナイザの基本特性を測定・比較することでこれらの問題点を検討し,その問題点を踏まえた上で,主として高周波交流電源式イオナイザのイオン電流測定法および簡易型直流電源の設計法を提案した。まず,高周波交流電源方式イオナイザでは放電針電流に静電容量成分電流が含まれることを明らかにし,性能評価のための指標であるイオン電流を分離する方法を考案した。次に,オゾン発生の軽減,イオンバランスの改善,電源の小型化等を目的とし,イオン電流を測定し易い,直流と低周波交流を組み合わせたハイブリッド電源を提案した。

シソーラス用語： *コロナ放電 ,  直流 ,  *電圧制御 ,  設計 ,  製造 ,  帯電 ,  小型化 ,  問題 ,  HF【周波数】 ,  交流電源 ,  *イオン電流 ,  静電容量 ,  性能評価
準シソーラス用語： *イオナイザ ,  *除電 ,  静電気除去 ,  *静電気障害 ,  測定法 ,  *電子デバイス

分類 (2件)： 静電機器  (NB10020R) ,  電源回路  (NC05060Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： コロナ ,  放電型 ,  イオナイザ ,  直流高圧電源 ,  簡易 ,  電圧制御 ,  設計