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J-GLOBAL ID：201502287720036327   整理番号：15A0475772

10^-4ミリバールの酸素分圧での1000Kにおけるペロブスカイト酸化物のパルスレーザ蒸着のための片持ち梁応力測定

Cantilever stress measurements for pulsed laser deposition of perovskite oxides at 1000 K in an oxygen partial pressure of 10^-4 millibars

著者 (3件)： PREMPER J. (Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale, DEU) ,  SANDER D. (Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale, DEU) ,  KIRSCHNER J. (Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale, DEU)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 86  号： 3  ページ： 033902-033902-5  発行年： 2015年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ペロブスカイト酸化物のパルスレーザ蒸着(PLD)の厳しい成長条件と両立する,光2ビーム曲率技法を用いるその場応力測定機構を述べ,それは1000Kの高い基板温度と上に1×10^-4ミリバールまでの酸素分圧を含む。応力測定は,中間エネルギー電子回折(MEED),Auger電子分光法,及び石英微量天秤による追加成長率モニタリングによって補完する。遮蔽したフィラメントを,高い基板温度での同時応力及びMEED測定を可能にするために使う。計算機制御したミラーは固定PLDターゲット上でエキシマレーザビームを走査する。これは回転するPLDターゲットから発する機械ノイズを避け,この機構は超高真空(UHV)回転フィードスルーの限られた寿命の問題を被らない。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 酸化物 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  分圧 ,  酸素 ,  高温 ,  片持梁 ,  *応力測定 ,  エキシマレーザ ,  レーザビーム

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸素分圧 ,  ペロブスカイト ,  酸化物 ,  パルスレーザ蒸着 ,  片持ち梁 ,  応力測定