文献

J-GLOBAL ID：201502287821468295   整理番号：15A0714815

各種ナノマテリアル集積化センサーアレイによる気体分析システムオンチップ

Gas Analysis System on Chip With Integrated Diverse Nanomaterial Sensor Array

著者 (3件)： MACNAUGHTON Samuel I. (Tufts Univ., MA, USA) ,  MACNAUGHTON Samuel I. (Sensata Technol., Inc., MA, USA) ,  SONKUSALE Sameer (Tufts Univ., MA, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 6  ページ： 3500-3506  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小カラムを使ったマイクロ・ガス・クロマトグラフィー(μGC)が進歩しているが,複雑かつ高価で大量生産に適していない。本論文は,複合混合物のマルチパラメーター気体検出を単一チップ・プラットフォーム上で行う,モノリシック集積化された気体注入機構,温度制御系,及びナノマテリアル・ケミレジスター・アレイ付きのポリジメチルシロキサン(PDMS)分離カラムを紹介した。センサーアレイは,カーボンナノチューブ,酸化バナジウム,及び還元酸化グラフェン・ナノマテリアルから作られている。このデバイスの大きさは手のひら大,消費電力は2W未満で,可搬式現場気体分析に役立つ。ここでは,この気体分析デバイスの構造,作製法,及び性能について述べた。

シソーラス用語： *ナノ材料 ,  集積 ,  *センサアレイ ,  *ガス分析 ,  半導体チップ ,  半導体集積回路 ,  *ガスクロマトグラフ ,  *カーボンナノチューブ ,  *グラフェン ,  抵抗器 ,  *匂いセンサ ,  嗅覚 ,  ポリジメチルシロキサン ,  注入 ,  温度制御 ,  酸化バナジウム ,  酸化物 ,  脂肪族化合物
準シソーラス用語： ナノマテリアル ,  オンチップ ,  化学抵抗器 ,  電子嗅覚 ,  ガス注入 ,  グラフェン酸化物

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノマテリアル ,  集積化 ,  センサーアレイ ,  気体分析 ,  システムオンチップ