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J-GLOBAL ID：201502287894080066   整理番号：15A0574510

垂直グラフェンをベースにしたナノコンポジット薄膜の作製

Fabrication of vertical graphene-based nanocomposite thin films

著者 (3件)： DAVAMI Keivan (Univ. Pennsylvania, Pennsylvania, USA) ,  SHAYGAN Mehrdad (AMO GmbH, Aachen, DEU) ,  BARGATIN Igor (Univ. Pennsylvania, Pennsylvania, USA)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 30  号： 5  ページ： 617-625  発行年： 2015年03月14日 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メタンと水素ガスによるRFプラズマCVDによってSi基板上に垂直グラフェン膜(VG)を作製し,その上にエポキシ樹脂をスピンコート,硬化し,その後Si基板をエッチング除去して,垂直グラフェンがポリマー中に均一分散したナノコンポジット薄膜(VGN)を作製した。比較のため,VG膜をエピキシ樹脂に混ぜ込んだ混合樹脂をSi基板上にスピンコート,硬化し,その後Si基板をエッチング除去したランダム分散VGNCを作製した。これらのVGNについて,構造,ガラス転移温度,機械的性質を調査した。均一分散VGNはVG膜の破断,凝集がなく,ポリマー単独およびランダム分散VGNに比較して優れたYoung率と破断応力を示した。またVG膜についての特性も紹介した。

シソーラス用語： *グラフェン ,  *高分子有機-無機ハイブリッド ,  *薄膜 ,  ウエハ【IC】 ,  プラズマCVD ,  エポキシ樹脂 ,  スピンコーティング ,  *ナノ複合材料 ,  エッチング ,  膜 ,  水素 ,  混合気体 ,  微細構造 ,  ガラス転移点 ,  機械的性質 ,  Young率 ,  破断強さ ,  蒸着膜 ,  アルカン
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  自立膜

分類 (2件)： 高分子固体の物性一般  (CG02021V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： 垂直 ,  グラフェン ,  ナノコンポジット ,  薄膜 ,  作製